Sesión 2c: Microsistemas

Ponencias

• Structural And Electrical Behavior Of Integrated Diaphragm Micro-Pressure-Sensor Based On Mosfet Transistor

B. S. Soto Cruz, F. López H., Agustín L. Herrera M., J. J. Estrada L.
Centro de Investigación en Dispositivos Semiconductores BUAP, México
Centro de Investigación en Micro y Nanotecnología UV, México
Instituto Tecnológico de Mérida ITM, México
México

• Chave Mems Capacitiva De Baixo Coeficiente De Reflexão

Silvio E. Barbin e Michel B. F. da Silva
Universidade de São Paulo, Departamento de Engenharia deTelcomunicações e Controle
Brasil

• Non-Conventional Biomems for Biosamples Manipulation

Alexandro Castellanos 1, Ryan G. Toomey 2 and Wilfrido A. Moren 3
1 Universidad Veracruzana Mexico,
2 University of South Florida - Chemical Engineering Department
3 University of South Florida - Electrical Engineering Department
México / Estados Unidos

Posters

• Efeito do Recozimento Térmico Sobre as Propriedades Físicas de Filmes de SIC obtidos por PECVD

M. A. Fraga 1, M. Massi 1, L. C.S. Góes 1, S.G. dos Santos Filho 2
1.Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Laboratório de Plasma e Processos (LPP)
2. Universidade de São Paulo, Laboratório de sistemas Integráveis (LSI)
Brasil

• Metodologia Para o Posicionamento de Piezoresistores em Acelerômetros Tipo Ponte usando FEA

L.L. Koberstein 1, F.J. Fonseca 1, M.A. Fraga 2, L.A. Rasia 3
1 Universidade de São Paulo, Laboratório de Microeletrônica da USP (LME/USP)
2 Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA)
3 Universidade Regional do Noroeste do Rio Grande do Sul (UNIJUI)
Brasil